發(fā)布時間:2019-02-01
CF真空法蘭的安裝要是還是很高的所以注意點不能忽視
CF真空法蘭的內(nèi)側(cè)有凸起的鋒利刀口,通過擠壓無氧銅墊圈(或其他軟金屬)使其變形而達(dá)到密封真空的目的,是全金屬材料的密封方式,被廣泛應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)中。CF真空法蘭也常用ICF法蘭來表示,CF后面的數(shù)字是標(biāo)準(zhǔn)的導(dǎo)管內(nèi)徑,而ICF后面的數(shù)字是法蘭的外徑。
CF真空法蘭分為固定型和松套型兩種。固定型法蘭為一體化結(jié)構(gòu)。松套型法蘭由擠壓銅墊圈的刀口部分和通過螺栓的固定部分構(gòu)成。法蘭上可開通孔或螺紋孔。開有通孔的法蘭要通過螺栓和螺母固定;開有螺紋孔的法蘭可直接使用螺栓固定。法蘭的材質(zhì)主要為SUS304(SUS304L),因SUS304放出氣體少,加工和焊接比較容易。
CF真空法蘭的特點是不分雌雄,包括無氧銅墊圈在內(nèi)全部由金屬構(gòu)成,因此可以承受高溫(250℃以上)烘烤。其缺點是價格高,無氧銅墊圈不能多次重復(fù)使用。
CF真空法蘭的安裝:
CF真空法蘭的安裝要求較高。因為無氧銅墊圈被擠壓后會變形,所以用均等力量扭緊螺栓非常重要。如果螺栓用力不均勻,會使對角位置的法蘭翹起,以至于漏氣。扭緊螺栓的力矩大約如下:M4螺栓20kgf·cm,M6螺栓70kgf·cm,M8螺栓100kgf·cm。
CF真空法蘭使用注意事項:
CF真空法蘭使用時有幾個注意點:螺栓一定要涂抹 MoS2,以免螺栓和螺母咬合卡死;法蘭外周要對齊;法蘭面要保持一點距離,為烘烤后繼續(xù)上緊螺栓留出余地。
CF真空法蘭中,刀口要切入金屬密封圈來實現(xiàn)真空密封。長期使用,刀口會逐漸變鈍。另外,受硬器碰撞后刀口容易受傷。這時的補救措施之一,是使用IPD金屬密封圈。IPD金屬密封圈不依靠法蘭的刀口,而依靠刀口外周的斜面來密封。