平面陰極實(shí)物

平面陰極實(shí)物

平面陰極，包含靶材、殼體、設(shè)置在殼體內(nèi)的軟鐵底板、設(shè)置在軟鐵底板上的磁陣，靶材位于所述磁陣的上方，所述磁陣包含N組并沿軟鐵底板的橫向進(jìn)行豎直的等距排列；所述磁陣包含：形成在軟鐵底板上的環(huán)形跑道、設(shè)置在軟鐵底板上被環(huán)形跑道所包圍的第一磁鐵、設(shè)置在軟鐵底板上用于包圍環(huán)形跑道的第二磁鐵；所述磁陣還包含：設(shè)置在環(huán)形跑道內(nèi)用于隔離并固定第一磁鐵和第二磁鐵的鋁塊；其中，被鋁塊隔離的第一磁鐵和第二磁鐵的極性相反。同現(xiàn)有技術(shù)相比，由于需鍍膜襯底在經(jīng)過靶材上方的過程中需要通過多個(gè)磁陣形成的刻蝕跑道，從而使得靶材上濺射出的離子或原子會(huì)反復(fù)的覆蓋在襯底的表面形成薄膜，以此來提高襯底鍍膜的速度。

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